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DM3 XL Industrial & Materials

より多くの情報で、より早く次のアクション

ひと目で広い視野で観察できることで、検査のスピードアップにつながります。DM3 XL は、最大 6 インチまでの大型部品を迅速にスキャンできるユニークなマクロ対物レンズを備えています。

マクロ対物レンズ を使用して、35.7 mm の広い視野を一度に観察できます。これは従来のスキャニング用対物レンズよりも 30% 大きな視野です。

マクロ対物レンズの採用により、欠陥箇所を見逃しません:

  • 歩留まり率の向上につながります。
  • ウェハの周縁部または中心部の加工不良をより正確に検出します。
  • 膜厚の不均一をすばやく検出します。

さまざまなサンプルに対応する LED 照明

DM3 XL にはさまざまなサンプルに対応する LED 照明が使用されています。LED 照明は、色温度が一定で、光量を変えても色合いが変わりません。

  • LED で再現性の高いイメージング
  • 特別な調整は不要です。
  • ランプ交換が不要、ダウンタイムがありません。
  • 再現性のある結果が得られます。

LED は寿命が長く消費電力が少ないため、コスト節減にも有効です。

ライカクオリティの高い光学性能

DM3 XL はコストパフォーマンスに優れています。

  • 標準機能の斜照明で側面やエッジの詳細を観察できます。たとえば、様々な角度から試料に照明をあてることで、トポグラフィを明らかにすることができます。
  • 表面の微小なキズや微細粒子を暗視野で観察

飛躍的に向上した感度と解像度に驚かれることでしょう。

対物レンズのラインナップについては以下をご覧ください:Leica Optics Center.

様々な試料に対応する各種ステージインサート

試料の様々なサイズや種類に対応できる、豊富なラインナップのステージインサートからお選びいただけます。

  • ステージサイズ:150 mm x 150 mm
  • ステージインサート:金属製インサート、ウェハホルダー、マスクホルダー
  • 各種インサートでステージ位置決めも快適です。

どなたでも快適かつ直観的に作業

解像度、コントラスト、焦点深度など顕微鏡の基本設定もカラーコーデッド・ダイアフラムアシスト(CCDA)で簡単。

簡単かつ直観的な操作性で、どなたでも最適な結果を迅速に得ることができます。 

  • オペレーターは顕微鏡操作部に手を置いて、試料に視線を置いたまま、観察法や照明を切り替えることができ、観察に集中できます。
  • 光量は右手で簡単に操作できます。
  • 人間工学デザインに基づいた鏡筒 ErgoTube とフォーカスノブにより、どなたでも顕微鏡操作もストレスなく調整できます