半導体検査顕微鏡(12インチウエハ用)
Leica DM12000 M

最新の光学技術で、生産性の改善に貢献

新しいアイデアにより装備されたUV斜め観察法及びマクロ観察法は、より高い解像力を実現しているだけでなく試料の観察及び検査のスピードアップを可能にします。全ての観察法に対応する本体に内蔵されたLED照明は、顕微鏡回りに理想的なエアーフローを可能にするだけでなく、省スペース・省電力などエコに大いに貢献します。

Leica DM12000 M

主な特長

マクロモードで快適・正確良好な外観検査 斬新斜め照明観察による超高解像度を実現

マクロモードで快適・正確良好な外観検査

DM12000 M 光学検査用顕微鏡にはマクロモードを組み込み、標準的なスキャニング対物レンズの最大 4 倍の視野を実現しています。このためスキャンエリア全体について欠陥の有無を迅速・正確に検査することができます。

斬新斜め照明観察による超高解像度を実現

i-line UV 照明に斜め照射機能を組み合わせたもので、試料に対して一定のをあらゆる角度から照明を行うことで 3D 超解像度画像を実現し、迅速・容易で効率的な観察を可能にしています。

 

快適な作業環境で品質生産性向上 LED 照明によりクリーンな作業環境を実現

快適な作業環境で品質生産性向上

操作機能エレメントはすべてスタンドに組み込まれており、ユーザーが顕微鏡を覗き込んだまま、両手を放す作業を中断することなく様々なコントラスト観察技術や照明を切り替えることができます。個々に作業者の体格に合わせた角度調節可能なエルゴ鏡筒及び位置調整可能なフォーカスノブを備えた、この検査システムは、あらゆるユーザーにカスタマイズできるシステムということが出来ます。

LED 照明によりクリーンな作業環境を実現

DM12000 M のスタンドには LED 照明が内蔵されています。妨げとなるランプハウスがなく、顕微鏡まわりに最適なエアフローを作りだします。また、ライカ DM12000 M に採用されている最先端 LED は、長寿命、低消費電力という利点があり、経済的だけでなくで環境にも配慮した顕微鏡となっています。可視光に加えて、オプションの i-line UV 照明はも LED照明 が採用されています。