高真空コーティング装置
Leica EM ACE600

高分解能なTEM観察、FE-SEMでの解析に

高性能・多機能ライカEM ACE600は、FE-SEMとTEMのアプリケーション向けに、各種金属やカーボンを非常に薄く均質で粒状性の良いコーティング層を成膜することが出来ます。

EM ACE600では、次の構成が可能です:
スパッタリング、カーボンスレッド蒸着、カーボンロッド蒸着、E-ビーム蒸着、Glowディスチャージによる親水化処理など。

また、ライカ EM VCT100 真空クライオ・トランスファーシステム との接続が可能です。ソリューション型のシステムのため、各種の装置とリンクする事が可能です。クライオSEMをはじめとする真空系、また、大気非暴露の解析装置用に、コンタミ・フリーの理想的な前処理ソリューションを実現できます。

For research use only
Leica EM ACE600 high vacuum coater

主な特長

高い再現性

水晶膜厚ユニットと自動制御の3軸可動の試料ステージなどを装備し、フル・オートメーション化したプロセスは、パラメータとプロトコル・セッティングを快適にサポートします。

クリーニングのしやすさ

フロント・ドア、ソース・シャッター、チャンバーの内部遮蔽ユニット、さらに蒸着源とステージは容易に着脱可能で、高品質サンプルを前処理するための清浄環境を確実にします。

コンパクト設計

小さな設置面積は、より有効に研究室スペースを活用いただけます。

簡単操作

直観的操作のタッチスクリーンを搭載。フロント・ドアは、快適なロック機能付です。さらに、ターゲット交換はツール・レス、コネクタは、簡単なプッシュ操作で完了です。

カスタマイズ可能な多機能性

ACE600の構成には、多様なニーズを満たす選択性があります。

クライオ・コーティング

標準的な室温環境のコーティング装置に、オプションのクライオシステムを組み込む事が可能です。ソリューション型の真空クライオトランスファーシステムを接続する事で、クライオ真空環境下での導電性コーティングか可能となります。さらに、温度と真空環境を維持したまま、次の解析装置まで搬送が可能です。