검사 & 분석 시스템 Leica DM12000 M
Leica D12000 M은 매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 광학기능을 새롭게 도입하여 12인치 웨이퍼의 검사 시 해상력이 향상되고 샘플 처리량(throughput)을 늘립니다.
LED 조명은 현미경에 완전히 통합돼 있습니다. 램프 하우징의 방해를 받지 않아 현미경 주위의 공기 흐름이 최적화됩니다. 수명이 길고 전력 소모가 극히 적어 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
버튼만 한번 누르면 배율이나 조명 내지 콘트라스트 모드를 변경할 수 있습니다.
특징 및 장점
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매크로 배율 (최대 4배까지)매크로 배율(macro magnification)이 일반 스캐닝 대물 렌즈 시야(the field of view)의 4배에 해당합니다. |
최고 해상도새로운 경사 UV 조명 모드(OUV)는 경사 조명을 자외선과 결합해 어느 각도에서든 표본을 최고 해상도로 관찰할 수 있습니다. |
인간공학적 설계장시간의 현미경 작업에 맞춰 최적화되었고 직관적으로 조정할 수 있고 이용자의 수준에 따라 쉽게 변경할 수 있습니다. |
LED 조명통합 LED 조명은 공기 흐름을 최적화합니다. 또한 오랜 수명과 낮은 소모 전력으로 비용을 크게 절감할 수 있습니다. |
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