EM TIC 3X Ionenstrahlätzsystem
Effizienz und Flexibilität
FAQs EM TIC 3X
Ionenstrahlfräsen ist eine Probenvorbereitungstechnik, bei der hochenergetische Argon-Ionen verwendet werden, um Material von einer Probenoberfläche zu entfernen. Das EM TIC 3X verwendet ein Dreifach-Ionenstrahlsystem mit Breitband, um hochwertige Oberflächen für REM, EBSD und andere Mikroskopieverfahren zu erzeugen.
Das EM TIC 3X liefert artefaktfreie Oberflächen, die für die hochauflösende REM-Bildgebung unerlässlich sind. Sein dreifacher Ionenstrahl sorgt für gleichmäßiges Fräsen und minimale Probenbeschädigung und ist damit ideal für Materialwissenschaften und Fehleranalyse.
Das System eignet sich für eine breite Palette von Materialien, darunter Metalle, Keramiken, Polymere, Verbundwerkstoffe und biologische Proben. Es bearbeitet sowohl harte als auch weiche Materialien mit hoher Präzision.
Die Dreistrahlkonfiguration ermöglicht das gleichzeitige Fräsen aus drei Winkeln, wodurch die Ablagerungen und Streifenbildung reduziert und die Oberflächenebenheit verbessert werden. Dies führt zu einer besseren Bildqualität und genaueren Analyseergebnissen.
Ja, das System unterstützt Kryo- und Vakuum-Transfertische und ermöglicht die Präparation von temperatur- oder luftempfindlichen Proben ohne Luftexposition oder temperaturbedingte Strukturveränderungen.
Es kann Proben mit einer Dicke von bis zu 25 x 20 x 5 mm bearbeiten und ist damit vielseitig für verschiedene Forschungs- und Industrieanwendungen einsetzbar.
Ja, es lässt sich nahtlos in das EM TXP für die mechanische Vorbearbeitung integrieren und ermöglicht einen kompletten Workflow vom Schneiden und Polieren bis zum abschließenden Ionenfräsen. Es ist auch mit dem EM VCT500 Transfersystem und dem EM ACE600 Beschichtungsgerät kompatibel und bietet einen vollständigen, rationalisierten Workflow für die Oberflächenvorbereitung.
Das Ionenstrahlfräsen liefert sauberere, gleichmäßigere Oberflächen mit weniger Artefakten. Es ist besonders vorteilhaft für empfindliche oder heterogene Materialien, bei denen mechanische Methoden Schäden verursachen können.
Ionenfräsen ist ein physikalisches Ätzverfahren, bei dem mit Hilfe eines fokussierten Ionenstrahls, in der Regel Argon, Material von einer Probenoberfläche entfernt wird. Es wird in erster Linie in der Elektronenmikroskopie eingesetzt, um ultraglatte, artefaktfreie Oberflächen oder Querschnitte für hochauflösende Bildgebung und Analysen vorzubereiten.
Vorteile:
- Erzeugt saubere, schadensfreie Oberflächen
- Geeignet für harte, weiche und heterogene Materialien
- Ideal zum Glätten und Polieren von Querschnitten, die mit mechanischen Methoden (z. B. mit dem EM TXP) erzeugt wurden
- Berührungslose Methode, bei der die mechanische Belastung reduziert wird
Beschränkungen:
- Langsamer als mechanische Methoden zur Grobabtragung
- Die Ausrüstung kann kostspielig sein und erfordert Vakuumsysteme
- Nicht ideal für großflächigen Materialabtrag
Beim Ionenstrahlfräsen werden Ionen (in der Regel Argon) in einem Vakuum auf eine Probenoberfläche beschleunigt. Durch die kinetische Energie der Ionen werden Atome von der Oberfläche entfernt, was einen kontrollierten Materialabtrag ermöglicht. Dieses Verfahren ist sehr zielgerichtet und präzise und eignet sich daher ideal für die Mikrostrukturanalyse.
