Analizzate rapidamente i wafer fino a da 6" grazie ad un campo visivo più grande del 30%

L'ispezione, il controllo dei processi e l'analisi dei difetti o dei guasti nella microelettronica e nell'industria dei semiconduttori devono essere rapidi e accurati. Ecco perché Leica Microsystems ha sviluppato un sistema d'ispezione altamente efficiente, il DM3 XL dedicato specificatamente a queste applicazioni. 

Il sistema d'ispezione DM3 XL può montare un obiettivo macro con caratteristiche uniche in grado di avere un campo visivo di 35,7 mm, il 30% di più rispetto ai normali obiettivi. Gli operatori riusciranno, quindi, ad analizzare facilmente anche i campioni più grandi, fino a 6”, nonché a rilevare velocemente i difetti. Risulteranno visibili anche i bordi o il centro del wafer scarsamente sviluppati, nonché gli spessori radiali irregolari dei film.

Per tutti i campioni, il sistema DM3 XL offre una scelta di inserti per tavolino di diverse dimensioni e tipologie, come quelli in metallo, nonché supporti per wafer e per maschere. Il tavolino, grande 150 mm x 150 mm, dà la possibilità di eseguire un rapido posizionamento macro e micrometrico. Grazie a ciò gli operatori riusciranno a spostare facilmente i campioni e individuare le regioni di interesse sul tavolino.

Proprio perché le condizioni di lavoro ergonomiche garantiscono una maggiore efficienza e una migliore qualità, Leica Microsystems ha progettato una soluzione funzionale estremamente semplice, dotata di comandi facilmente raggiungibili che consentono agli utenti di tenere gli occhi fissi sul campione e le mani sul microscopio, mentre cambiano le tecniche di contrasto o di illuminazione. Quest'ultima, integrata e a LED, offre una temperatura di colore costante e una visualizzazione fedele dei colori, a tutti i livelli d'intensità. 

L'upgrade è molto semplice: basta scegliere un modulo software dedicato e una fotocamera per microscopio e ottenere un'analisi e una documentazione di alta qualità. 

Per maggiori informazioni visitate la pagina web del sistema d'ispezione DM3 XL.

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