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DM6 M LIBS Industrial & Materials Leica Leica Microsystems
DM6 M LIBS ソリューションによる金属表面の検査例:鋼(上側)上の鉛層(下側)を検出

顕微鏡で拡大観察、元素分析まで可能な one-stop ソリューション

DM6 M LIBS のレーザープラズマ分光機能により、顕微鏡で拡大観察中の微細構造の化学組成をその場で、高速に同定することができます。

微細構造部分を見つけたら、ワンクリックで LIBS 分析を開始できます。

特長

  • 電子顕微鏡を用いる従来の手法に比べて、化学分析の時間を 90% 節減できます。
  • 視覚、化学情報の双方に基づき、迅速な意思決定ができます。

試料作製不要で分析

DM6 M LIBS ソリューションは、従来の分析に比較して、以下のステップが不要になり、90% 時間が節約できます。

  • 試料作製と装置間の移動
  • システムセットアップ、調整
  • 関心領域(ROI)の再探索

シンプルなワークフロー

1 台のシステムで観察と分析が可能になり、結果の分析に集中することができます。

DM6 M LIBS による組成分析の詳細についてはアプリケーションノートを参照してください。

DM6 M LIBS ソリューションは、従来の光学顕微鏡と走査型電子顕微鏡(SEM)による分析に比べてステップ数が 1/3 に減少します。
LIBS による分析でアルミニウム粒子を確認

決断を早く

試料の微細構造の組成分析のためのツールを結合することで、正しい意思決定が迅速にできます。

全体の 90% 以上のケースで、次のアクションを迅速・確実に決定(たとえば汚染源の特定のため SEM による詳細分析が必要)するのに十分なデータが得られています。*

*ユーザーからのフィードバックに基づく。

成分の清浄度解析

DM6 M LIBS システムにコンタミ解析用ソフトウェア Cleanliness Expert を組み合わせて、フィルター上試料の目視検査と化学試験を 1 システム、1 つのワークフローで実行することができます。

コンタミ源の同定、検出が容易になります。

より確信のおける結果を

粒子組成と構造の両データを迅速に得ることで、分析中に同定、次のアクション決定を迅速に行うことができます。

フィルター清浄度解析:コンタミ粒子を鉄と同定
ケイ酸塩鉱物に含まれる鉄含有相

微細構造の成分の評価

DM6 M LIBS ソリューションでは材料の相、たとえば鉱物、合金、セラミックスなどの構造解析と元素/化学分析の両方を行うことができます。

従来の試料作製や装置間の移動は必要ありません。解析ワークフロー全体が 1 つの装置で実行されます。

試料作製の手間を最小限に

SEM(走査型電子顕微鏡)/ EDS(エネルギー分散型 X 線分析)分析を最小限に抑えることで、時間とコストを共に節約できます。

材料の深さ方向と層構造分析

LIBS のアブレーション原理を利用して材料への微小穿孔も可能です。

微小穿孔には次のような応用例があります。

  • 深度プロファイルの作成
  • 層構造分析
  • 表面洗浄

深度プロファイルを用いて、各層の組成変化を推定することができます。

層構造分析は材料内の各層の組成分布を推定することができます。層構造を持つ材料の例としては、多層コーティングあるいは塗装した金属が挙げられます。

表面洗浄は酸化物や汚染物を除去するのに用いられます。

微小穿孔の直径と深さ - 銅合金上の微小穿孔
1. レーザーパルスがターゲット表面に照射。
2. プラズマが誘起され、基底状態に戻る際に放射光が発生。
3. 原子の発するスペクトルにより元素が同定。

LIBS の基本原理

DM6 M LIBS ソリューションは、レーザー誘起ブレークダウン分光法(LIBS)  により化学分析を可能にしています。

分析はワンクリックで開始でき、試料表面上にパルスレーザーが発射されます。表面の微量な試料がアブレートされ、遊離電子、励起された原子やイオンを含む高エネルギープラズマ化します。冷却プロセスの間に、原子やイオンの励起された電子は特定のピークでの放射光を発しながら基底状態に戻ります。このプラズマからの放射光は分光器に集められ、各ピークを識別することで、フィルター上試料の化学組成を高速で判別できます

スペクトルはソフトウェアによって元素および化合物の既知のデータセットと照合され、微小構造の成分が同定されます。データセットはユーザーの得た特定材料に関する結果を追加することで拡張できます。

DM6 M LIBS ソリューション:ライカ インテリジェント顕微鏡

LIBS ソリューションによる迅速な材料分析において、顕微鏡は重要な役割を果たしています。

ライカ DM6 M 金属顕微鏡

  • 1.25×~100×の幅広い対物レンズ倍率による観察
  • 各種観察方法により材料の微小構造も正確に可視化
  • 全自動操作で、どなたでも簡単、精度高く分析を実行できる自由度の高さ

拡張性

お手持ちの顕微鏡に LIBS モジュールを追加し、組成分析できるシステムにアップグレード

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