DM12000 M
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Leica Microsystems
DM12000 M 12인치 정밀 검사&분석 시스템
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Leica D12000 M은 매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 광학기능을 새롭게 도입하여 12인치 웨이퍼의 검사 시 해상력이 향상되고 샘플 처리량(throughput)을 늘립니다.
LED 조명은 현미경에 완전히 통합돼 있습니다. 램프 하우징의 방해를 받지 않아 현미경 주위의 공기 흐름이 최적화됩니다. 수명이 길고 전력 소모가 극히 적어 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
버튼만 한번 누르면 배율이나 조명 내지 콘트라스트 모드를 변경할 수 있습니다.
