Leica DM12000 M
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Leica Microsystems
Leica DM12000 M 12인치 정밀 검사&분석 시스템
Leica D12000 M은 매크로 모드(macro mode), 경사 UV 조명(oblique UV illumination, OUV) 등의 광학기능을 새롭게 도입하여 12인치 웨이퍼의 검사 시 해상력이 향상되고 샘플 처리량(throughput)을 늘립니다.
LED 조명은 현미경에 완전히 통합돼 있습니다. 램프 하우징의 방해를 받지 않아 현미경 주위의 공기 흐름이 최적화됩니다. 수명이 길고 전력 소모가 극히 적어 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
버튼만 한번 누르면 배율이나 조명 내지 콘트라스트 모드를 변경할 수 있습니다.
Key Features
매크로 배율 (최대 4배까지)
매크로 배율(macro magnification)이 일반 스캐닝 대물 렌즈 시야(the field of view)의 4배에 해당합니다.
최고 해상도
새로운 경사 UV 조명 모드(OUV)는 경사 조명을 자외선과 결합해 어느 각도에서든 표본을 최고 해상도로 관찰할 수 있습니다.
인간공학적 설계
장시간의 현미경 작업에 맞춰 최적화되었고 직관적으로 조정할 수 있고 이용자의 수준에 따라 쉽게 변경할 수 있습니다.
LED 조명
통합 LED 조명은 공기 흐름을 최적화합니다. 또한 오랜 수명과 낮은 소모 전력으로 비용을 크게 절감할 수 있습니다.
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