Detección rápida, acción rápida

El sistema de inspección para la microelectrónica y los semiconductores DM3 XL

La velocidad importa en la inspección, el control de procesos o el análisis de defectos y fallos en la industria de la microelectrónica y los semiconductores. Cuanto más rápido detecte un defecto, más rápido podrá reaccionar.

30 % más de campo visual

Con un gran campo visual, el sistema de inspección DM3 XL permite a su equipo identificar defectos más rápidamente y aumentar su tasa de rendimiento. Haga uso del campo visual aumentado un 30 % del exclusivo objetivo macro.

Vea más, trabaje más rápido

Ver más significa trabajar más rápido. Para escanear rápidamente componentes grandes de hasta 6 pulgadas, el DM3 XL ofrece un exclusivo objetivo macro.

Con un aumento de 0,7x, captura un campo visual de 35,7 mm de una vez, un 30 % más que con otros objetivos de escaneado convencionales.

Con el objetivo macro, los defectos no tienen ninguna posibilidad:

  • Aumente su rendimiento
  • Detecte de manera fiable el revelado insuficiente en el borde o en el centro de la oblea
  • Detecte los espesores radiales de capa irregulares

LED para todos los métodos de contraste

El DM3 XL utiliza iluminación LED para todos los métodos de contraste. La iluminación LED proporciona una temperatura de color constante y ofrece imágenes a color reales en todos los niveles de intensidad.

  • Captura y procesamiento de imágenes a color realistas en todos los niveles de intensidad
  • Sin necesidad de ajuste
  • Sin cambio de bombilla, sin tiempo de paradas
  • Resultados reproducibles

Con una larga vida útil y un bajo consumo de potencia, los LED también tienen un enorme potencial de ahorro de costes.

Alto rendimiento óptico

Con el DM3 XL, puede beneficiarse de la excelencia óptica a un precio económico.

  • Examine caras, bordes o arranques con iluminación oblicua: ilumine su muestra desde diferentes ángulos como una forma sencilla y eficaz de visualizar topografías.
  • Detecte microarañazos o partículas pequeñas en las capas inferiores de la muestra con un contraste de campo oscuro profundo.

Le sorprenderán la sensibilidad aumentada claramente y la resolución.

Obtenga más información sobre nuestra gama de objetivos en el Centro Óptico de Leica.

Variedad de muestras, distintos insertos de platina

No importa qué tamaño de muestra y tipo de muestra desee inspeccionar; puede elegir entre una variedad de piezas intermedias para platinas:

  • Tamaño de la platina: 150 mm x 150 mm
  • Insertos de platina: metálicos, porta-obleas o máscaras
  • Movimiento grueso y rápido de platina o fino

Trabaje cómoda e intuitivamente

Simplificando los ajustes básicos de resolución, contraste y profundidad de campo, el asistente del diafragma de codificación cromática (CCDA) le ayuda a acelerar su trabajo y minimizar los errores operacionales.

La funcionalidad sencilla e intuitiva permite a su equipo obtener resultados óptimos más rápidamente.  

  • Mantenga sus manos en los controles del microscopio y su vista en la muestra mientras cambia el contraste o la iluminación gracias a sus botones fácilmente accesibles
  • Maneje fácilmente el controlador de la intensidad de la luz con la mano derecha
  • Adapte el microscopio a usuarios de distinta altura con ErgoTubos y mandos de enfoque ajustables

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