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Détection rapide, action rapide

Le système d'inspection pour la microélectronique et les semi-conducteurs DM3 XL

La vitesse joue un rôle important dans l'inspection, le contrôle de processus ou l'analyse des défauts et des défaillances pour la microélectronique et l'Industrie des semi-conducteurs. Vous pouvez réagir d'autant plus vite que vous détectez vite un défaut.

30 % de champ visuel en plus

Avec un grand champ visuel, le système d'inspection DM3 XL permet à votre équipe d'identifier les défauts plus vite et d'augmenter votre taux de rendement. Profitez d'un champ visuel agrandi de 30 % grâce à l'exceptionnel objectif macro.

Voir plus, travailler plus vite

Voir plus signifie travailler plus vite. Pour faire un balayage rapide de grands composants (jusqu'à 6’’), le DM3 XL fournit un exceptionnel objectif macro.

Avec un grossissement de 0,7x, il capture en une fois un champ visuel de 35,7 mm, soit 30 % de plus qu'avec les autres objectifs à balayage conventionnels.

Avec l'objectif macro, les défauts n'ont plus aucune chance :

  • Augmenter le rendement
  • Détecter fiablement une insuffisance au bord ou au centre d'une galette
  • Détecter l'inégalité d'épaisseur d'un film radial

LED pour toutes les méthodes de contraste

Le DM3 XL utilise un éclairage à diodes électroluminescentes pour toutes les méthodes de contraste. L'éclairage à LED fournit une température de couleur constante et offre une imagerie en couleurs réelles à tous les niveaux d'intensité.

  • Imagerie en couleurs vraies à tous les niveaux d'intensité
  • Sans ajustement
  • Sans remplacement d'ampoule, ce qui évite les temps d'indisponibilité
  • Des résultats reproductibles

Avec une longue durée de vie et une faible consommation électrique, les LED ont un énorme potentiel de réduction des coûts.

Dispositif aux performances optiques élevées

Avec le DM3 XL, vous pouvez profiter de l'excellence optique à un prix abordable.

  • Examinez les côtés, les bords ou les écaillages avec un éclairage oblique : éclairez votre échantillon sous des angles différents, ce qui est une façon simple et efficace de visualiser les topographies.
  • Avec le contraste en profondeur et à fond noir, détectez les micro-éraflures ou les petites particules présentes dans les couches inférieures de l'échantillon.

La stupéfiante augmentation de la sensibilité et de la résolution vous impressionneront.

Pour en savoir plus sur notre gamme d'objectifs, visitez le Leica Optics Center.

Variété d'échantillons – divers inserts de platine

Quels que soient la taille et le type de l'échantillon à inspecter, vous pouvez choisir parmi une variété d'inserts de platine :

  • Dimensions de la platine : 150 mm x 150 mm
  • Inserts de platine : inserts métalliques, supports de galette ou supports de masque
  • Positionnement rapide (approximatif ou précis) de la platine

Travailler confortablement et intuitivement

En simplifiant le réglage de base de la résolution, du contraste et de la profondeur de champ, l'assistant de diaphragme à repères de couleur (CCDA) contribue à accélérer votre travail et réduire les erreurs de fonctionnement.

L'ensemble des fonctions est direct et intuitif, ce qui permet à votre équipe de fournir plus vite des résultats optimaux.  

  • Lors des changements de contraste ou d'éclairage, grâce aux éléments de commande très accessibles, vous gardez les mains posées sur le microscope et ne quittez pas l'échantillon des yeux
  • Utilisez facilement de la main droite le contrôleur d'intensité lumineuse
  • Ajustez le microscope à la taille de l'utilisateur, grâce aux divers ErgoTubes et boutons de mise au point

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