DM8000 M et DM12000 M Systèmes d'inspection optique
Les systèmes d'inspection optique DM8000 M et DM12000 M favorisent la prise de décision en matière de qualité des produits et permettent de gagner du temps grâce à une meilleure compréhension des échantillons.
Ces microscopes d'inspection permettent une inspection et une analyse rapides et fiables de matériaux tels que les semi-conducteurs et les plaquettes, ce qui vous permet d'effectuer un contrôle de la qualité et de détecter rapidement les défauts.
Visibilité rapide des structures et des défauts
Détecter et analyser diverses structures et défauts, notamment les rayures et la contamination, sur vos échantillons. Choisissez parmi un éventail de méthodes d'éclairage et de contraste, notamment le fond clair, le fond noir, la polarisation, le contraste interférentiel différentiel (CID), la fluorescence (Fluo) et l'infrarouge (IR), pour réaliser des inspections rapides et fiables. Améliorer la résolution avec la lumière ultraviolette (UV).
Des informations supplémentaires sur la surface grâce à l'éclairage oblique. La combinaison avec les UV permet d'accentuer le contraste.
Les défauts sont détectés plus rapidement lors de l'analyse de fractures grâce à un contraste plus élevé soutenu par la technique avancée du fond noir avec les objectifs Plan Fluotar (20x, 50x et 100x).
Images de la surface d'une plaquette de silicium acquises avec différentes méthodes d'éclairage et de contraste, avec une contamination clairement visible sur l'image de droite.
Gagnez du temps grâce à un aperçu rapide des échantillons
Révéler rapidement les macro-défauts et les structures dans les échantillons de matériaux grâce à l'objectif macro 0,7x en option. L'objectif macro offre un champ de vision d'environ 36 mm pour une orientation rapide et un dépistage efficace, ce qui vous permet de gagner du temps.
Pour l'inspection d'échantillons de grande taille, d'une hauteur supérieure à 42 mm, le »microscope peut être équipé d'un axe de lumière incidente. En utilisant cet axe, les échantillons de faible hauteur devront être étudiés à l'aide d'un insert de platine.
Images en fond clair d'une plaquette à motifs
Moins de réglages grâce à l'automatisation
Lors de l'inspection et du contrôle de la qualité, vous pouvez gagner du temps et limiter les erreurs grâce aux réglages automatiques des paramètres et à l'utilisation intuitive de la mise au point. Une simple pression sur un bouton permet de changer d'objectif et d'ajuster automatiquement les paramètres d'éclairage et de contraste.
Le nez motorisé permet un changement d'objectif rapide et confortable, réduisant les mouvements inutiles pour vous faire gagner du temps et de l'énergie. L'échantillon est mieux protégé contre la contamination car les opérateurs n'ont pas besoin de changer manuellement les objectifs.
Par ailleurs, l'objectif VIS-UV 150x permet d'utiliser toutes les méthodes de contraste sans changer d'objectif.
Étudier des échantillons en toute simplicité
Les fonctions de mise au point faciles et intuitives vous aident à examiner vos échantillons rapidement et en toute confiance.
- Pour les échantillons présentant des surfaces très réfléchissantes, comme les plaquettes nues, utilisez le viseur de mise au point pour faire la mise au point facilement et rapidement.
- Utilisez la butée de mise au point intégrée avec une grande plage verticale pour les échantillons de différentes hauteurs afin de les protéger contre tout dommage involontaire.
- Passez facilement d'un grossissement à l'autre sans avoir à réajuster votre mise au point grâce aux objectifs parfocaux.
Travailler dans le confort et augmenter la productivité
La conception ergonomique et les fonctions automatisées des microscopes DM8000 M et DM12000 M permettent une utilisation sans fatigue pour vous aider à vous concentrer sur vos échantillons, en particulier lors d'inspections répétitives.
Grâce aux tubes ergonomiques réglables individuellement et aux boutons de mise au point réglables en hauteur, vous pouvez garantir un confort optimal à votre poste de travail lors des inspections de routine et d'autres applications.
Conçu pour un environnement sûr et contrôlé
Les DM8000 M et DM12000 M peuvent être utilisés dans des salles blanches lorsque vous devez inspecter des composants critiques.
- Les matériaux conducteurs avec résistivité de surface protègent vos produits contre les décharges électrostatiques.
- L'embout motorisé encapsulé est conçu pour des conditions environnementales exigeantes.
- L'éclairage LED intégré pour la lumière visible et UV réduit le risque de contamination.
Pour les salles blanches, la conception du microscope optimise le flux d'air autour de lui, en veillant à ce que le flux laminaire ne soit pas perturbé.
DM8000 M / DM12000 M Manuel
Choisissez la solution manuelle selon les besoins
- Inspection de base des échantillons sur une base hebdomadaire
- Débit d'échantillons modéré
- Positionnement manuel de l'échantillon
DM8000 M / DM12000 M motorisé
Choisissez la solution motorisée qui répond à vos besoins :
- Inspection avancée des échantillons sur une base quotidienne
- Débit d'échantillons élevé
- Utilisation du même microscope par plusieurs utilisateurs
Trouvez la solution à vos besoins
Les microscopes DM8000 M et DM12000 M vous permettent de réaliser une inspection efficace et rapide d'échantillons de 8 et 12 pouces. Des configurations dédiées sont disponibles pour vos besoins d’application spécifiques.
| DM8000°M / DM12000°M Manuel | DM8000°M / DM12000°M motorisé |
| Positionnement manuel de l'échantillon | x | x |
| Inspection à contraste élevé | x | x |
| Visualisation des structures fines | x | x |
| Eclairage UV et UV oblique | o | o |
| Automatisation et utilisation ergonomique | - | x |
x = inclus, o = en option, - = non disponible
