Dispositif de revêtement par pulvérisation cathodique Leica EM ACE600

Système de dépôt de revêtement sous vide poussé pour un large éventail d’applications

Équipé d’une chambre de traitement métallique configurable, le dispositif de pulvérisation cathodique EM ACE600 est flexible et peut être adapté à un large éventail d’applications. Atteignez vos objectifs de workflow et répondez aux besoins de votre laboratoire en exécutant jusqu’à deux sources différentes en un seul processus de préparation. Vous pouvez même configurer l’EM ACE600 pour des workflows cryogéniques de pointe.

Que vous deviez...

  • Effectuer une imagerie haute résolution d’échantillons plats ou structurés non conducteurs
  • Améliorer le contraste des structures à l’échelle nanométrique, telles que les protéines ou les brins d’ADN
  • Produce thin, but strong support layers for TEM grids or
  • Produire des couches de support fines mais solides pour les grilles MET ou
  • Élargir le système pour les applications cryogéniques

… le dispositif d'évaporation carbone et de revêtement par pulvérisation cathodique EM ACE600 est votre réponse.

EM ACE600, dispositif de revêtement carbone par faisceau électronique et pulvérisation cathodique avec station de transfert cryogénique
EM ACE600, dispositif de revêtement carbone par faisceau électronique et pulvérisation cathodique avec station de transfert cryogénique

Sputter coating

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Films minces de haute qualité reproductibles avec revêtement par pulvérisation cathodique

Avec le système de dépôt sous vide poussé EM ACE600, vous produisez à chaque passage des couches minces de haute qualité constante en appliquant le procédé de revêtement par pulvérisation cathodique. Établissez les conditions répondant parfaitement à vos besoins de revêtement avancés et obtenez des résultats reproductibles grâce au processus automatisé de revêtement par pulvérisation cathodique, basé sur des recettes.

Effectuez une analyse MEB à fort grossissement jusqu’à 200 kX et plus, avec un excellent vide de base <2 x 10-6 mbar et des paramètres de processus équilibrés avec précision pour une gamme de cibles de pulvérisation. Ajustez la distance de l’échantillon et l’angle de revêtement en fonction des besoins morphologiques de l’échantillon.

Pour améliorer encore davantage vos résultats de revêtement, utilisez un piège Meissner pour augmenter le vide à 10-7 mbar, puis essayez de pulvériser des cibles ou des échantillons sensibles à l’oxygène.

Revêtements par pulvérisation cathodique à grains fins de 2 nm d’épaisseur de différents matériaux déposés sur le sous-état SiOx, grossissement 200kX.
Revêtements par pulvérisation cathodique à grains fins de 2 nm d’épaisseur de différents matériaux déposés sur le sous-état SiOx, grossissement 200kX.

Carbon coating

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Films minces de haute qualité reproductibles avec revêtement carbone

Avec l’EM ACE600, vous pouvez produire des films de carbone de haute qualité en utilisant un dépôt de revêtement à fils ou crayons de carbone ou une évaporation sous faisceau électronique.

L’évaporation à fils de carbone est devenue une méthode largement utilisée depuis que

Leica Microsystems a développé l’approche unique par impulsions adaptatives qui est mise en œuvre dans l’EM ACE600. Ce dispositif peut produire des films précis, robustes et amorphes avec une épaisseur inférieure au nanomètre tout en minimisant l’impact de la chaleur sur l’échantillon. Que vous ayez besoin de couches de support MET d'une finesse nanométrique, solides et propres, de revêtements (de protection) diffus ou de grandes couches de carbone homogènes, le fil de carbone est le bon choix.

Pour des applications dédiées, telles que l’ombrage rotatif, vous pouvez utiliser l’évaporateur par faisceau électronique. Sa petite divergence du faisceau est idéale pour le revêtement en ombre afin d’améliorer le contraste des bords des structures à l’échelle nanométrique.

Dépôt de carbone précis pour des films de carbone de 1 à 5 nm d’épaisseur
Dépôt de carbone précis pour des films de carbone de 1 à 5 nm d’épaisseur

Adaptez l’EM ACE600 à vos besoins

Exécutez plus d’un procédé avec un seul dispositif de revêtement sans interrompre le vide, grâce à la grande chambre de procédé métallique configurable de l’EM ACE600. Simultanément, combinez une tête de pulvérisation avec un système d’évaporation perfectionné à fil de carbone ou choisissez deux sources de pulvérisation pour obtenir des revêtements métalliques multicouches en un seul processus de préparation.

  • Production de couches minces réparties de manière homogène sur l’ensemble de la platine de 100 mm grâce au concept de cible à deux sources avec deux orifices coudés et une platine pivotante
  • Choisissez parmi des sources de fil carbone, de faisceau d’électrons et de revêtement par pulvérisation cathodique
  • Équipez votre EM ACE600 d’une pulvérisation à décharge luminescente
  • Mise à niveau possible à tout moment sur site
Ports configurables ACE600 pour deux sources. Faites votre choix : 1-Évaporation à fil carbone | 2- Pulvérisation cathodique | 3- Évaporation à crayon de carbone | 4- Évaporation sous faisceau électronique
Ports configurables ACE600 pour deux sources. Faites votre choix : 1-Évaporation à fil carbone | 2- Pulvérisation cathodique | 3- Évaporation à crayon de carbone | 4- Évaporation sous faisceau électronique

Maintenez votre concentration sur les parties essentielles de votre processus de préparation

Préparez vos échantillons de routine en toute confiance d'un simple appui sur un bouton en utilisant l’appareil de revêtement par carbone et pulvérisation cathodique EM ACE600. Des workflows simples et fiables et des modes opératoires normalisés vous permettent de vous concentrer sur les éléments essentiels de la préparation des échantillons de microscopie électronique. Vous pouvez vous concentrer sur l’optimisation de votre workflow et passer moins de temps à apprendre à utiliser le système ou à former d’autres personnes à son utilisation.

  • Chargement et déchargement sûrs des échantillons sensibles via la porte frontale
  • Une interface utilisateur basée sur le workflow et un accès rapide aux paramètres pertinents sont autant de guides
  • Des sources légères et solides pour faciliter l'utilisation quotidienne
Fonctionnement de l’écran tactile EM ACE600 avec une interface utilisateur basée sur le workflow
Fonctionnement de l’écran tactile EM ACE600 avec une interface utilisateur basée sur le workflow

Élargir aux workflows cryogéniques

Ouvrez votre laboratoire à une gamme complète d’expériences de microscopie électronique en procédant au revêtement de vos échantillons dans des conditions cryogéniques. Le dispositif de revêtement carbone et par pulvérisation cathodique EM ACE600 prend en charge la préparation des échantillons pour la recherche, comme l’analyse structurelle d’échantillons biologiques à l’état natif et hydraté, en effectuant une cryofracture et un cryo-enrobage, puis un transfert d’échantillons cryogéniques dans le MEB à l’aide du système de transfert EM VCT500.

L’EM ACE600 offre :

  • Une interface pour le transfert d’échantillons cryogéniques
  • Une platine cryogénique pour le revêtement dans des conditions cryogéniques
  • Dispositif de base pour fracture
EM ACE600 équipé du système de transfert cryogénique EM VCT500
EM ACE600 équipé du système de transfert cryogénique EM VCT500

Choisissez la configuration optimale

Répondez aux besoins de votre travail quotidien en laboratoire en configurant votre dispositif de revêtement par carbone et pulvérisation cathodique EM ACE600.

Choisissez parmi une vaste sélection de porte-échantillons et de platines, comme la platine à 3 axes avec jusqu’à 3 axes motorisés ou la platine de refroidissement dédiée.

Les platines interchangeables rapidement font de votre EM ACE600 un outil polyvalent.

1 : platine motorisée à 3 axes | 2 : platine rotative d’ombrage (LARS-) | 3 : platine rotative « manuelle » | 4 : platine cryogénique
1 : platine motorisée à 3 axes | 2 : platine rotative d’ombrage (LARS-) | 3 : platine rotative « manuelle » | 4 : platine cryogénique

Films de carbone ultra-fins

Le revêtement carbone a de multiples applications en microscopie électronique. Il doit être conducteur, mais invisible pour le faisceau d’électrons et ne doit pas présenter de structure granulaire.

Les couches minces produites par le dispositif de revêtement à fil de carbone EM ACE600 avec impulsions adaptatives sont précises en épaisseur, solides, conductrices et peuvent même être étuvées pour réduire davantage la contamination. En fin de compte, ces films fournissent :

  • Haute transparence aux électrons
  • Résistance adéquate au bombardement électronique
  • Épaisseur uniforme, essentielle pour les investigations analytiques, l’imagerie quantitative ou la tomographie électronique
A : film de carbone conventionnel (15 nm de carbone) ; B : film de carbone ultrafin (3 nm). Observation facile de la trame des plaques quantiques CdSe. Images acquises par Eva Bladt et Sara Bals (EMAT, Université d’Anvers), Belgique. Avec l'aimable autorisation de : Frederic Leroux et Jan de Weert. Échantillon fourni avec l’aimable autorisation de : Daniel Vanmaekelbergh, Debye Institute for Nanomaterials Science, Université d’Utrecht
A : film de carbone conventionnel (15 nm de carbone) ; B : film de carbone ultrafin (3 nm). Observation facile de la trame des plaques quantiques CdSe. Images acquises par Eva Bladt et Sara Bals (EMAT, Université d’Anvers), Belgique. Avec l'aimable autorisation de : Frederic Leroux et Jan de Weert. Échantillon fourni avec l’aimable autorisation de : Daniel Vanmaekelbergh, Debye Institute for Nanomaterials Science, Université d’Utrecht

Ombrage rotatif – rend visibles les structures nanométriques

Configurez votre EM ACE600 avec une configuration d’ombrage rotatif à angle faible (LARS) dédiée permettant d'imager des structures à l’échelle nanométrique, telles que des protéines ou des brins d’ADN, dans le MET. La source de faisceau électronique EM ACE600 associée à une platine LARS motorisée combine un dépôt de film mince directif, à faible chaleur – à impact, avec une platine optimisée pour le dépôt par rasage. Une fois que les brins d’ADN sont ombrés selon un petit angle avec une couche de platine finement grainée, une couche de carbone est ajoutée pour stabiliser les structures fragiles à analyser dans le MET.

Photo MET d’une fourche de réplication de l’ADN de la levure bourgeonnante S.cerevisiae obtenue à l’aide d’un ombrage rotatif à angle faible avec le dispositif de revêtement sous faisceau électronique EM ACE600
Photo MET d’une fourche de réplication de l’ADN de la levure bourgeonnante S.cerevisiae obtenue à l’aide d’un ombrage rotatif à angle faible avec le dispositif de revêtement sous faisceau électronique EM ACE600

Choisissez le workflow adapté à votre expérience

L’EM ACE600 vous aide à obtenir des résultats de haute qualité lors de la réalisation d’expériences scientifiques et biologiques sur les matériaux. Les workflows vont de la préparation d’échantillons MET et MEB standard aux workflows de tomographie 3D, au MEB FIB, etc. Pour plus d’informations sur les solutions de workflow pour la

  • recherche en sciences de la vie, téléchargez la brochure sur le workflow
  • recherche en sciences des matériaux, téléchargez la brochure sur le workflow

Standard SEM Workflow

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Workflow standard du MEB

Étudiez l’architecture de surface des échantillons fixés chimiquement avec le workflow standard du MEB. Préparez vos échantillons avec le préparateur des tissus EM TP et séchez-les ensuite au point critique avec l’EM CPD300. La prochaine étape consiste à métalliser vos échantillons avec l’EM ACE200 ou l’EM ACE600, puis à les imager dans le MEB.

(1) Traitement automatisé des tissus (EM TP) | (2) Séchage automatisé au point critique (EM CPD300) | (3) Évaporation carbone et/ou revêtement par pulvérisation cathodique (EM ACE200/EM ACE600) | (4) Analyse d’images dans le MEB
(1) Traitement automatisé des tissus (EM TP) | (2) Séchage automatisé au point critique (EM CPD300) | (3) Évaporation carbone et/ou revêtement par pulvérisation cathodique (EM ACE200/EM ACE600) | (4) Analyse d’images dans le MEB

SEM / LM Solid State Preparation

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Préparation à l’état solide MEB/LM – Coupe transversale par faisceau ionique large

Cette technique est le plus souvent utilisée pour les échantillons MEB à l’état solide, mais elle peut également être appliquée aux analyses LM. Lorsque l’échantillon a une certaine cible à exposer pour observation, l’échantillon doit être bien coupé pour obtenir la structure interne de la partie concernée. Ensuite, pour les échantillons non conducteurs, un revêtement est nécessaire pour rendre l’échantillon adapté à l’observation MEB.

(1)- (3) Coupe transversale, préparation de la cible, rectification (EM TXP) | (4) et (5) Fraisage par faisceau ionique et polissage haut de gamme (EM TIX 3X ou EM RES102) | (6) Revêtement (EM ACE200/EM ACE600) |(7) Analyse MEB
(1)- (3) Coupe transversale, préparation de la cible, rectification (EM TXP) | (4) et (5) Fraisage par faisceau ionique et polissage haut de gamme (EM TIX 3X ou EM RES102) | (6) Revêtement (EM ACE200/EM ACE600) |(7) Analyse MEB

Cryo-SEM Sample Preparation and Transfer

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Préparation et transfert d’échantillons Cryo-MEB – Coupe transversale par faisceau ionique large

Ce workflow de cryotransfert est utilisé pour les échantillons congelés sous haute pression, y compris les matériaux durs et fragiles (par ex. argile avec quartz). L’échantillon doit être maintenu à une température de -150 °C pendant tout le processus de préparation, de la congélation à haute pression à la préparation mécanique à l’aide de la scie cryogénique, suivie d’une étape de fraisage par faisceau ionique et de son transfert final vers le Cryo-MEB.

(1) Congélation haute pression (EM ICE) |(2)- (3) Coupe transversale et découpe (EM VCM) | (4) Transfert (EM VCT500) | (5) Fraisage par faisceau ionique (EM TIC 3X) | (6) Transfert (EM VCT500) | (7) Revêtement (EM ACE600) | (8) Analyse Cryo-MEB
(1) Congélation haute pression (EM ICE) |(2)- (3) Coupe transversale et découpe (EM VCM) | (4) Transfert (EM VCT500) | (5) Fraisage par faisceau ionique (EM TIC 3X) | (6) Transfert (EM VCT500) | (7) Revêtement (EM ACE600) | (8) Analyse Cryo-MEB

SEM / LM Solid State Preparation

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Préparation à l’état solide MEB/LM – Polissage par faisceau ionique large

Cette technique est utilisée pour les grands échantillons MEB ou LM à l’état solide. Lorsqu’une grande surface (plusieurs cm2) de l’échantillon doit être examinée à un niveau de qualité optimal (par ex. EBSD), l’échantillon est préparé mécaniquement (finition de type miroir) et finalement préparé avec la méthode de polissage ionique.

(1) & (2) Surfaçage & Polissage (EM TXP) | (3) et (4) Fraisage par faisceau ionique et polissage haut de gamme (EM TIC 3X ou EM RES102) | (5) Revêtement (EM ACE200/EM ACE600) | (6) Analyse MEB
(1) & (2) Surfaçage & Polissage (EM TXP) | (3) et (4) Fraisage par faisceau ionique et polissage haut de gamme (EM TIC 3X ou EM RES102) | (5) Revêtement (EM ACE200/EM ACE600) | (6) Analyse MEB

Section Tomography 3D Workflow

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Workflow de tomographie 3D

Ce workflow vous permet d’étudier l’organisation et la synergie des structures biologiques au sein d’une volumétrie 3D définie. La première étape consiste à traiter vos échantillons à température ambiante, puis à procéder à des coupes sériées semi-épaisses sur des grilles MET. Après l’étape de coloration, passez à l’imagerie MET.

(1) Traitement automatisé des tissus (EM TP) | (2) Dégrossissage (EM TRIM2) | (3) Coupes sériées (EM UC7) | (4) Coloration (EM AC20) | (5) Analyse d’images dans la MET
(1) Traitement automatisé des tissus (EM TP) | (2) Dégrossissage (EM TRIM2) | (3) Coupes sériées (EM UC7) | (4) Coloration (EM AC20) | (5) Analyse d’images dans la MET

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