Ispezione veloce per un'azione veloce

Il sistema di ispezione per microelettronica e semiconduttori DM3 XL

La velocità conta nei processi di ispezione, controllo di processo, analisi dei difetti e nella failure analysis nella microelettronica e nei semiconduttoriPiù velocemente si riesce a rilevare un difetto, più velocemente sarà possibile correggerlo.

Campo visivo incrementato del 30%

Con un ampio campo visivo, il sistema di ispezione DM3 XL consente al vostro team di identificare i difetti più velocemente e di incrementare il tasso di rendimento. Sfruttate il campo visivo incrementato del 30% grazie ad un obiettivo macro unico nel suo genere.

Vedere di più per lavorare più velocemente

Vedere di più significa poter lavorare più velocemente. Per eseguire più velocemente l'analisi di componenti grandi , fino a 6", il sistema DM3 XL dispone di un obiettivo macro unico nel suo genere.

Con un ingrandimento di 0,7x visualizza un campo di 35,7 mm in una sola volta: il 30% in più rispetto agli obiettivi macro convenzionali.

Con l'obiettivo macro i difetti non hanno scampo:

  • Incrementate il rendimento
  • Rilevate in modo affidabile sviluppi insufficienti sul margine o al centro di un wafer
  • Rilevate spessori radiali irregolari nei film

LED per tutti i metodi di contrasto

Il sistema DM3 XL utilizza l'illuminazione a LED per tutti i metodi di contrasto. L'illuminazione a LED offre una temperatura colore costante e consente un imaging con colori reali a tutti i livelli di intensità.

  • Imaging a colori reali per tutti i livelli di intensità
  • Nessuna regolazione necessaria
  • Nessuna sostituzione della lampada, nessun tempo di fermo
  • Risultati riproducibili

Con una lunga vita utile e un basso consumo energetico, i LED rappresentano anche un enorme potenziale di risparmio.

Elevate prestazioni ottiche

Con il sistema DM3 XL è possibile aggiudicarsi l'eccellenza ottica a un prezzo conveniente.

  • Esaminate lati, bordi o scheggiature con l'illuminazione obliqua: illuminate il campione da differenti angolazioni per visualizzare topografie in modo facile ed efficace.
  • Rilevate micro-graffi o piccole particelle negli strati inferiori del campione grazie a un campo scuro ad alto contrasto.

Vi sorprenderanno l'incredibile sensibilità e risoluzione.

Scoprite ulteriori informazioni sulla nostra gamma di obiettivi nel Leica Optic Center.

Varietà di campioni – inserti del tavolino variabili

Non importa quale sia la dimensione e il tipo di campione che desiderate ispezionare, perché è disponibile un'ampia varietà di inserti del tavolino:

  • Dimensione tavolino: 150 mm x 150 mm
  • Inserti del tavolino: inserti in metallo, supporti per wafer o per maschere
  • Posizionamento veloce o posizionamento di precisione del tavolino

Lavorate in modo comodo e intuitivo

La semplificazione delle impostazioni base di risoluzione, contrasto e profondità di campo, la funzionalità Color Coded Diaphragm Assistant (CCDA, assistenza diaframmi con codifica cromatica) aiuta a velocizzare il lavoro e a ridurre al minimo gli errori operativi.

Una funzionalità semplice e intuitiva consente al vostro team di produrre risultati ottimali più velocemente.  

  • Controlli facilmente raggiungibili consentono di tenere tranquillamente le mani sul microscopio e gli occhi sul campione mentre si regola il contrasto o l'illuminazione
  • Facile gestione del controller dell'intensità luminosa con la mano destra
  • Regolazione del microscopio alle diverse altezze degli operatori con tubi ergonomici variabili e manopole per la messa a fuoco

Volete saperne di più?

Parlate con i nostri esperti. Saremo lieti di rispondere a tutte le vostre domande e preoccupazioni.

Contatti

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