より早く検出することで、より早くアクション

マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造に最適な検査システム DM3 XL

マイクロエレクトロニクスおよび半導体産業製造において、ルーチンの検査、工程管理、欠陥解析は、さらにスピーディーに行うことが求められています。欠陥箇所を早く検出することで、次の対応をより早く実施することができます。

30% 広い視野で

DM3 XL 検査システムはユニークなマクロ対物レンズの採用で、これまでより 30% 大きな視野で観察できます。

より多くの情報で、より早く次のアクション

ひと目で広い視野で観察できることで、検査のスピードアップにつながります。DM3 XL は、最大 6 インチまでの大型部品を迅速にスキャンできるユニークなマクロ対物レンズを備えています。

マクロ対物レンズ を使用して、35.7 mm の広い視野を一度に観察できます。これは従来のスキャニング用対物レンズよりも 30% 大きな視野です。

マクロ対物レンズの採用により、欠陥箇所を見逃しません：

  • 歩留まり率の向上につながります。
  • ウェハの周縁部または中心部の加工不良をより正確に検出します。
  • 膜厚の不均一をすばやく検出します。

さまざまなサンプルに対応する LED 照明

DM3 XL にはさまざまなサンプルに対応する LED 照明が使用されています。LED 照明は、色温度が一定で、光量を変えても色合いが変わりません。

  • LED で再現性の高いイメージング
  • 特別な調整は不要です。
  • ランプ交換が不要、ダウンタイムがありません。
  • 再現性のある結果が得られます。

LED は寿命が長く消費電力が少ないため、コスト節減にも有効です。

ライカクオリティの高い光学性能

DM3 XL はコストパフォーマンスに優れています。

  • 標準機能の斜照明で側面やエッジの詳細を観察できます。たとえば、様々な角度から試料に照明をあてることで、トポグラフィを明らかにすることができます。
  • 表面の微小なキズや微細粒子を暗視野で観察

飛躍的に向上した感度と解像度に驚かれることでしょう。

対物レンズのラインナップについては以下をご覧ください：Leica Optics Center.

様々な試料に対応する各種ステージインサート

試料の様々なサイズや種類に対応できる、豊富なラインナップのステージインサートからお選びいただけます。

  • ステージサイズ：150 mm x 150 mm
  • ステージインサート：金属製インサート、ウェハホルダー、マスクホルダー
  • 各種インサートでステージ位置決めも快適です。

どなたでも快適かつ直観的に作業

解像度、コントラスト、焦点深度など顕微鏡の基本設定もカラーコーデッド・ダイアフラムアシスト（CCDA）で簡単。

簡単かつ直観的な操作性で、どなたでも最適な結果を迅速に得ることができます。 

  • オペレーターは顕微鏡操作部に手を置いて、試料に視線を置いたまま、観察法や照明を切り替えることができ、観察に集中できます。
  • 光量は右手で簡単に操作できます。
  • 人間工学デザインに基づいた鏡筒 ErgoTube とフォーカスノブにより、どなたでも顕微鏡操作もストレスなく調整できます

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