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DM3 XL マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造に最適な検査システム

より早く検出することで、より早くアクション

スタンド 金属製スタンド
フォーカス調整 2 ギアフォーカス(粗動/微動、上部のフォーカスストッパーを用いて 1 μm のスケールで調整)または
3 ギアフォーカス(粗動、微動、超微動、上部のフォーカスストッパーを用いて 1 μm と 4 μm のスケールで調整)
粗動フォーカス硬さ調整、ステージ高さ調整
ステージストローク 30 mm
落射光 落射光軸、4 位置リフレクターターレット付(明視野(BF)、暗視野(DF)、偏 光(POL)、微分干渉コントラスト(DIC)、および蛍光(FLUO))
  • 斜照明付
  • カラーコーデッド・ダイアフラムアシスト(CCDA)付
  • 調節可能なアイリス開口絞り付
  • 落射照明用フィルターマガジン付、32 mm 径フィルター用
各種光源
  • 落射用 LED ランプハウス
  • ミラーハウス 106(2 つの光源の同時適合)
  • LED 蛍光光源 SFL 100、4000、および 7000
  • 蛍光光源 EL6000、Hg 50、Hg 100、Xe 75
  • 12 V 100 W ハロゲン(ランプハウスシリーズ 106 または 10 7/ 2)
対物レンズターレット/
対物レンズ
5x BF/DF M32、6x BF M25、および 7x BF M25 対物レンズターレット
  • HI PLAN EPI 対物レンズ  5 x、10 x、20 x
  • N PLAN EPI 対物レンズ 2.5 x - 100 x
  • PLAN FLUOTAR 対物レンズ 1.25 x - 100 x
  • PLAN APO 対物レンズ  0.7 x マクロ  50 x、100 x、150 x
アクセサリー(オプション) 中間変倍(1x、1.5 x、2x)
x、y、z 測定用測定ステージ
透過光 外部冷光光源
電源 ユニバーサル電源アダプタ、90 - 230 V
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