DM3 XL
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Leica Microsystems
DM3 XL マイクロエレクトロニクスおよび半導体製造に最適な検査システム
より早く検出することで、より早くアクション
スタンド | 金属製スタンド |
フォーカス調整 | 2 ギアフォーカス(粗動/微動、上部のフォーカスストッパーを用いて 1 μm のスケールで調整)または 3 ギアフォーカス(粗動、微動、超微動、上部のフォーカスストッパーを用いて 1 μm と 4 μm のスケールで調整) 粗動フォーカス硬さ調整、ステージ高さ調整 |
ステージストローク | 30 mm |
落射光 | 落射光軸、4 位置リフレクターターレット付(明視野(BF)、暗視野(DF)、偏 光(POL)、微分干渉コントラスト(DIC)、および蛍光(FLUO))
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対物レンズターレット/ 対物レンズ | 5x BF/DF M32、6x BF M25、および 7x BF M25 対物レンズターレット
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アクセサリー(オプション) | 中間変倍(1x、1.5 x、2x) x、y、z 測定用測定ステージ |
透過光 | 外部冷光光源 |
電源 | ユニバーサル電源アダプタ、90 - 230 V |
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