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顕微鏡とサンプル調製ソリューションで、ウエハー加工、ICパッケージング、組み立ておよび試験のため、迅速で信頼性の高いウエハーおよび半導体検査を実現します。

半導体検査

メーカーやサプライヤーは、ウエハー加工、集積回路(IC)パッケージング、組み立て、試験のための迅速で信頼性の高い半導体検査と分析を達成する必要があります。半導体の製造において、定義された仕様に準拠することは、信頼性を高めるために非常に重要です。高品質の半導体デバイスと IC チップを製造するには、期待される清浄度レベルと最小限の欠陥を満たす必要があります。したがって、効率的なウエハーおよび半導体検査のための顕微鏡ソリューションは、この目標を達成するために不可欠です。さらに、より高性能なテクノロジーへの需要も絶えず高まっているため、これらの顕微鏡は研究開発に貢献する必要があります。

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ICチップやその他の電子部品の品質と信頼性を確保するのに役立つため、ウエハーと半導体検査は製造中に重要です。製造プロセス中に発生する可能性がある、欠陥、傷、コンタミ(粒子、残留物など)の検出と分析が含まれます。このような欠陥やコンタミは、部品の性能を損ない、故障を引き起こしたり、生産の円滑な流れを中断する能性があります。

ウエハーおよび半導体検査が重要な理由

ICチップやその他の電子部品の品質と信頼性を確保するのに役立つため、ウエハーと半導体検査は製造中に重要です。製造プロセス中に発生する可能性がある、欠陥、傷、コンタミ(粒子、残留物など)の検出と分析が含まれます。このような欠陥やコンタミは、部品の性能を損ない、故障を引き起こしたり、生産の円滑な流れを中断する能性があります。

ウエハーおよび半導体の効率的な検査をどのように達成できますか?

光学顕微鏡を使用して、さまざまな照明およびコントラスト方法(明視野、暗視野、偏光、 DIC、紫外線、斜め照明、赤外線)と幅広い倍率を使用して、効率的な視覚検査を行うことができます。ウエハーや半導体のさまざまな欠陥、傷、コンタミを迅速かつ確実に検出し、分析することができます。

半導体検査に断面解析が必要なのはなぜですか?

IC(集積回路)チップなどの半導体部品のバルク材料には、製造中に欠陥が存在し、部品の品質と信頼性に影響を与える可能性があります。これらの欠陥をチェックするには、材料が不透明であることが多いため、断面解析が必要な場合があります。半導体部品の内部構造は、最初に断面作製を行わないと見ることができません。次に、内部構造に存在する可能性のある欠陥を観察し分析するための分析が行われます。

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ウエハーおよび半導体検査の課題

ウエハーや半導体検査では、ユーザーは以下を行う必要があるため、ワークフローの最適化が難しい場合があります。

  • ウエハーや半導体の概要から細部まで効率的に移動します。
  • さまざまな種類の欠陥、傷、残留物、コンタミなどを迅速かつ確実に視覚化します。
  • 快適な方法で作業し、検査性能を向上させます。

これらの検査の課題は、適切な顕微鏡ソリューションで克服できます。

多様なコントラスト法で詳細を見る

より効率的で信頼性の高いウエハー検査と品質管理(QC)を実現するには、見えにくい詳細を簡単に視覚化することが重要です。顕微鏡ソリューションを検査に使用する場合、画像品質は、コントラストと見やすい詳細レベルの観点から、照明と光学系に大きく依存します。

明視野、暗視野、紫外線、斜め照明など、適切な照明とコントラストの方法を選択することが不可欠です。例えば、コンタミ、残留物、スミアリングされたコーティング、傷など、異なるウエハー及び ICチップの欠陥は、しばしば、1 つのコントラスト法で他の方法と比較してより鮮明になる場合があります。

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断面の作製と分析

IC チップなどの半導体部品の内部構造を検査するには、不透明な材料のため断面の調製と分析が必要です。断面解析は、不良解析や研究開発と並んで、検査の貴重な方法です。半導体部品を切断した後、断面を研磨し琢磨して滑らかな表面を得る必要があります。

断面解析は光学顕微鏡のみで実行できます。顕微鏡検査とレーザー分光法を組み合わせると、半導体部品の内部構造と組成の両方が同時に明らかになります。

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ICパターン半導体検査。微分干渉コントラスト(DIC)照明で取得した同じ領域の画像。

ICパターン半導体 - DIC

ICパターン半導体検査。微分干渉コントラスト(DIC)照明で取得した同じ領域の画像。

集積回路(IC)でパターン化された半導体検査。光学顕微鏡と明視野照明で取得した領域の画像。

ICパターン半導体 - 明視野

集積回路(IC)でパターン化された半導体検査。光学顕微鏡と明視野照明で取得した領域の画像。

ICパターン半導体検査。微分干渉コントラスト(DIC)照明で取得した同じ領域の画像。

ICパターン半導体 - 偏斜

ICパターン半導体検査。微分干渉コントラスト(DIC)照明で取得した同じ領域の画像。

ICパターン半導体検査。微分干渉コントラスト(DIC)照明で取得した同じ領域の画像。
集積回路(IC)でパターン化された半導体検査。光学顕微鏡と明視野照明で取得した領域の画像。
ICパターン半導体検査。微分干渉コントラスト(DIC)照明で取得した同じ領域の画像。

よくある質問(FAQ)               半導体検査

Show answer 半導体製造とは何ですか?

半導体製造とは、集積回路(IC)チップを製造するプロセスです。まず、シリコン(Si)などの半導体材料で作成したウエハー上に、導電性及び絶縁性薄膜の層を積層します。次に、ウエハー上にフォトレジストを塗布し、マスクを通して紫外線に露光させ、露光領域をエッチングすることによってナノパターンが形成されます。フォトレジストを洗浄すると、ナノパターンの電気伝導性はイオンの打ち込みによって調整され、IC が構築されます。最後に、パターン化されたウエハーを IC チップにカットし、これをプリント基板(PCB)に取り付けます。

Show answer 半導体製造には何が必要ですか?

IC(集積回路)チップなどの電子部品を製造するには、半導体製造にいくつかのプロセスと工程が必要です。UV リソグラフィ、ドライエッチング、ウェットエッチング、イオンビームなどの幅広いナノ製造プロセスと機器が含まれます。ナノパターンの寸法が小さいため、粉塵やその他のコンタミを避ける必要があります。結果として深刻な欠陥が生じる可能性があります。このため、半導体の製造はクリーンルームで行われます。光学顕微鏡やその他の技術を使用した検査は、製造の重要な一部です。定期的に実施され、欠陥がほとんどない、全くなく高い部品品質であることが保証されます。

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