高品質の表面によりユーザーが求めている結果が得られます。

硬質、軟質、脆性、不均質、感熱性など、さまざまなタイプの試料を高品質で表面加工します。EM TIC 3Xを活用して試料の内部構造を明らかにし、高品質な表面を形成できます。

  • ステージを回転させることなく、3本のブロードビームを使用して高品質のミリング面を形成します。
  • 優れた分析成果を得られるように、最大の断面を形成します。
  • 5つのステージと各種試料ホルダーから適切なものを選べます。
キャプション:1: SiC研磨紙の断面、2: 合板の断面、3: -120℃で作製した同軸ポリマー繊維(水溶性)、4: オイルシェール(ナノ細孔)、EM TIC 3X(ロータリーステージ)で調製、試料の総サイズ 直径25 mm。
キャプション:1: SiC研磨紙の断面、2: 合板の断面、3: -120℃で作製した同軸ポリマー繊維(水溶性)、4: オイルシェール(ナノ細孔)、EM TIC 3X(ロータリーステージ)で調製、試料の総サイズ 直径25 mm。

埋没構造の調製が容易

目的の構造が埋没していたとしても見逃しません。実体顕微鏡を使用して、試料をマスクとイオンガンに正確に位置合わせします。プロセス全体を観察し、記録できます。

試料とスタンダードマスクに位置合わせされたトリプルイオンビーム
試料とスタンダードマスクに位置合わせされたトリプルイオンビーム

フォイル試料を効率的に作製

単層または多層フォイルの断面を、再堆積や剥離を最小限に抑えて作製します。さまざまなタイプのフォイルを加工することで、機械的前処理によるアーティファクトを除去し、電池部品の高分解能SEM分析を可能にします。

大気制御ワークフローで作製されたリチウムイオン電池(LIB)三層ポリマーセパレーターのSEM像。提供:Silke Christiansen教授・工学博士(INAM eV laboratory(ドイツ・フォルヒハイム))
大気制御ワークフローで作製されたリチウムイオン電池(LIB)三層ポリマーセパレーターのSEM像。提供:Silke Christiansen教授・工学博士(INAM eV laboratory(ドイツ・フォルヒハイム))

ワークフローに試料を持ち込むだけ

試料ホルダの互換性により、効率向上と処理ステップ削減が可能です。表面加工ワークフロー全体を通じて、EM TXPとEM TIC 3Xで同じホルダーを使用できます。加工プロセス全体を通して、試料の取り付けと向きを一定に保つことで、試料の損傷や位置ずれのリスクを低減します。

環境の影響を受けやすい試料やクライオ試料のための大気制御ワークフローの例
環境の影響を受けやすい試料やクライオ試料のための大気制御ワークフローの例

必要に応じて新たな実験を実施可能

実験の幅を広げるために新しいステージを導入する際に、クライオステージの場合であっても、サービスサポートや装置のダウンタイムは不要です。

  • スタンダードステージ
  • マルチサンプルステージ
  • ロータリーステージ
  • 冷却ステージ
  • 真空クライオトランスファードッキングステーション

EM TIC 3Xは、EM VCT500やEM ACE600などライカの各種製品と互換性があります。

簡単に交換可能なステージで、さまざまなワークフローに対応。
簡単に交換可能なステージで、さまざまなワークフローに対応。
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