EM TIC 3X 構成可能なイオンビームミリングシステム

正確な表面加工をシンプルに行える設計。

ロータリーステージ

ロータリーステージ(組み込み可能)は、大面積ミリング(平面ミリング)用に特別に設計されています。イオンビームの加工範囲は直径25 mm超です。カタログダウンロード ロータリーステージ

スタンダードステージ

日常的な用途や、加工表面のコントラスト増強向けのスタンダードステージ。

マルチサンプルステージ

マルチサンプルステージは高スループットが求められる用途で使用されます。Leica EM TIC 3Xで3つの試料をセットし、1回のセッション(たとえば一晩)でユーザーの操作なしに自動加工できます。

冷却ステージ

冷却ステージでは極低温での加工が可能です。試料ホルダーとマスクの温度を-160℃まで下げることで、極めて熱に敏感な試料、たとえばゴムや水溶性ポリマー繊維、さらには必要とあればマシュマロでも、高品質の加工が可能です。カタログダウンロード 冷却ステージ

真空トランスファードッキングステーション

不活性ガス/真空条件下でコーティング/SEMシステムに搬送することができ、環境の影響を受けやすい試料の表面加工に最適です。

各種試料ホルダー

ほぼすべての試料サイズ、幅広い用途に対応する各種試料ホルダーが用意されており、たとえば機械的前処理(Leica EM TXP)からイオンビームスロープカット(Leica EM TIC 3X)、SEM検査から保管にいたるまでのプロセス全体に1つの試料ホルダーで対応できます。

ロータリーステージ用試料ホルダー

高さ12 mmまでの試料に対応する試料ホルダーと市販のSEMスタブ用アダプター

高圧凍結試料用試料ホルダー

高圧凍結試料用として数種類の試料ホルダーが用意されています。画像(左):クライオ試料ホルダー画像(右):10 x 7 x 4 mmまでの試料に対応するクライオ試料ホルダー

Leica EM TIC 3X

トリプルイオンビームカッター

Leica EM TIC 3X用ロータリーステージ

直径25 mmのオイルシェール試料の加工

Scroll to top