EM TIC 3X 構成可能なイオンビームミリングシステム
正確な表面加工をシンプルに行える設計。
ロータリーステージ
ロータリーステージ(組み込み可能)は、大面積ミリング(平面ミリング)用に特別に設計されています。イオンビームの加工範囲は直径25 mm超です。カタログダウンロード ロータリーステージ
マルチサンプルステージ
マルチサンプルステージは高スループットが求められる用途で使用されます。Leica EM TIC 3Xで3つの試料をセットし、1回のセッション(たとえば一晩)でユーザーの操作なしに自動加工できます。
冷却ステージ
冷却ステージでは極低温での加工が可能です。試料ホルダーとマスクの温度を-160℃まで下げることで、極めて熱に敏感な試料、たとえばゴムや水溶性ポリマー繊維、さらには必要とあればマシュマロでも、高品質の加工が可能です。カタログダウンロード 冷却ステージ
各種試料ホルダー
ほぼすべての試料サイズ、幅広い用途に対応する各種試料ホルダーが用意されており、たとえば機械的前処理(Leica EM TXP)からイオンビームスロープカット(Leica EM TIC 3X)、SEM検査から保管にいたるまでのプロセス全体に1つの試料ホルダーで対応できます。
Leica EM TIC 3X
トリプルイオンビームカッター
Leica EM TIC 3X用ロータリーステージ
直径25 mmのオイルシェール試料の加工