高品質の表面によりユーザーが求めている結果が得られます。
硬質、軟質、脆性、不均質、感熱性など、さまざまなタイプの試料を高品質で表面加工します。EM TIC 3Xを活用して試料の内部構造を明らかにし、高品質な表面を形成できます。
- ステージを回転させることなく、3本のブロードビームを使用して高品質のミリング面を形成します。
- 優れた分析成果を得られるように、最大の断面を形成します。
- 5つのステージと各種試料ホルダーから適切なものを選べます。
埋没構造の調製が容易
目的の構造が埋没していたとしても見逃しません。実体顕微鏡を使用して、試料をマスクとイオンガンに正確に位置合わせします。プロセス全体を観察し、記録できます。
フォイル試料を効率的に作製
単層または多層フォイルの断面を、再堆積や剥離を最小限に抑えて作製します。さまざまなタイプのフォイルを加工することで、機械的前処理によるアーティファクトを除去し、電池部品の高分解能SEM分析を可能にします。
ワークフローに試料を持ち込むだけ
試料ホルダの互換性により、効率向上と処理ステップ削減が可能です。表面加工ワークフロー全体を通じて、EM TXPとEM TIC 3Xで同じホルダーを使用できます。加工プロセス全体を通して、試料の取り付けと向きを一定に保つことで、試料の損傷や位置ずれのリスクを低減します。
必要に応じて新たな実験を実施可能
実験の幅を広げるために新しいステージを導入する際に、クライオステージの場合であっても、サービスサポートや装置のダウンタイムは不要です。
- スタンダードステージ
- マルチサンプルステージ
- ロータリーステージ
- 冷却ステージ
- 真空クライオトランスファードッキングステーション
EM TIC 3Xは、EM VCT500やEM ACE600などライカの各種製品と互換性があります。
