Schnelle Erkennung - schnelle Reaktion

Das Inspektionssystem für die Mikroelektronik- und Halbleiterbranche DM3 XL

Bei der Inspektion, Prozesskontrolle oder Analyse von Defekten und Fehlern in der Mikroelektronik- bzw. Halbleiterbranche kommt es auf Schnelligkeit an. Je schneller ein Defekt erkannt wird, desto schneller kann darauf reagiert werden.

30 % größeres Sichtfeld

Mit dem einzigartigen Makroobjektiv des DM3 XL profitieren Sie von einem 30% größeren Sichtfeld. Das ermöglicht Ihnen eine schnellere Erkennung von Defekten und steigert Ihren Durchsatz.

Mehr sehen - schneller arbeiten

Wenn Sie mehr von Ihrer Probe sehen können, beschleunigt und vereinfacht das Ihre Arbeit. Zum schnellen Scannen großer Komponenten mit bis zu 6 Zoll/ 150 mm Größe ist das DM3 XL mit einem einzigartigen Makroobjektiv ausgestattet.

Durch eine Vergrößerung von 0,7x erfasst es ein Sichtfeld von 35,7 mm – 30 % mehr als mit herkömmlichen Scanobjektiven.

Defekte haben keine Chance gegen das Makroobjektiv:

  • Erhöhung des Durchsatzes
  • Entwicklungsfehler am Rand oder im Zentrum eines Wafers zuverlässig erkennen
  • Ungleichmäßigkeiten in den radialen Schichtdicken aufdecken

LEDs für alle Kontrastmethoden

Das DM3 XL nutzt für alle Kontrastmethoden LED-Beleuchtung. Diese liefert eine konstante Farbtemperatur und bietet Ihnen in allen Intensitätsstufen Echtfarbgebung.

  • Natürliche Farbwiedergabe in allen Intensitätsstufen
  • Kein Nachjustieren
  • Kein Lampenwechsel – keine Ausfallzeiten
  • Reproduzierbare Ergebnisse

Dank einer langen Lebensdauer und niedrigem Stromverbrauch bieten LEDs auch ein enormes Kosteneinsparungspotenzial.

Mikroskopie mit optischer Hochleistung

Das DM3 XL bietet Ihnen herausragende Optik und vielseitige Funktionen zu einem erschwinglichen Preis.

  • Schrägbeleuchtung: Betrachten Sie Ihre Probe aus unterschiedlichen Winkeln, untersuche Sie Seiten, Kanten oder Splitter und erzeugen Sie Topograhien.
  • Dunkelfeldkontrast: Erkennen Sie winzige Kratzer oder kleine Partikel in den unteren Schichten der Probe.

Die deutlich höhere Auflösung und Sensitivität des DM3 XL wird Sie zum Staunen bringen. Weiterführende Informationen zu den verfügbaren Objektiven für das DM3 XL finden Sie online im Leitz Optics Center.

Variable Tischeinsätze für Ihre Proben

Ganz gleich welche Probenart und -größe Sie mit dem DM3 XL untersuchen wollen, Sie können aus einer Vielzahl von verfügbaren Tischeinsätzen wählen:

  • Tischgröße: 150 mm x 150 mm
  • Tischeinsätze: Metalleinsätze, Wafer- oder Maskenhalter
  • Schnelle Grob- und Feinpositionierung des Tisches

Bequem und intuitiv arbeiten

Der Color Coded Diaphragm Assistant (CCDA) vereinfacht die Grundeinstellungen von Auflösung, Kontrast und Tiefenschärfe, um Ihre Arbeit zu beschleunigen und Bedienfehler zu reduzieren. Mit den einfachen und intuitiven Funktionen des DM3 XL kann Ihr Team schneller arbeiten und optimale Ergebnisse liefern.  

  • Einfach angeordnete Bedienelemente erlauben Anwendern die Hände am Mikroskop und Augen auf der Probe lassen, während Kontrast oder Beleuchtung eingestellt werden
  • Beleuchtungsstärke lässt sich bequem mit der rechten Hand steuern
  • Mit variablen ErgoTuben und Fokusknöpfen lässt sich das Mikroskop an unterschiedliche Körpergrößen anpassen

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