DM8000 M & DM12000 M Optische Inspektionssysteme
Verbessern Sie Ihre Entscheidungsfindung im Interesse der Produktqualität und sparen Sie Zeit, indem Sie sich mit den optischen Inspektionssystemen DM8000 M und DM12000 M tiefere Einblicke in die Proben verschaffen.
Diese Inspektionsmikroskope bieten schnelle und zuverlässige Inspektionen und Analysen von Materialien wie Halbleiter und Wafer, so dass Sie die Qualitätskontrolle sicherstellen und Defekte schnell erkennen können.
Schnelle Visualisierung von Strukturen und Defekten
Erkennen und analysieren Sie verschiedene Strukturen und Defekte, wie Kratzer und Verunreinigungen, auf Ihren Proben. Wählen Sie aus einer Reihe von Beleuchtungs- und Kontrastmethoden, wie Hellfeld, Dunkelfeld, Polarisation, differentieller Interferenzkontrast (DIC), Fluoreszenz (Fluo) und Infrarot (IR), damit Sie Ihre Inspektionen schnell und zuverlässig durchführen können. Verbessern Sie die Auflösung mithilfe von ultraviolettem (UV) Licht.
Gewinnen Sie zusätzliche Oberflächeninformationen mithilfe von schräger Beleuchtung. Kombinieren Sie dies mit UV-Licht, um den Kontrast weiter zu verbessern.
Finden Sie Defekte bei der Bruchanalyse schneller und mit höherem Kontrast, unterstützt durch die fortschrittliche Dunkelfeldtechnik mit Plan Fluotar Objektiven (20x, 50x und 100x).
Bilder einer Wafer-Oberfläche, die mit verschiedenen Beleuchtungs- und Kontrastmethoden aufgenommen wurden. Auf dem rechten Bild ist die Kontamination deutlich zu erkennen.
Zeitersparnis durch eine schnelle Probenübersicht
Mit dem optionalen 0,7x Makro-Objektiv können Sie Makrodefekte und -strukturen in Materialproben schnell aufdecken. Das Makro-Objektiv bietet ein Sichtfeld von ca. 36 mm für eine schnelle Orientierung und ein effizientes Screening, wodurch Sie Zeit sparen.
Für die Inspektion von hohen Proben mit einer Höhe von mehr als 42 mm kann das Mikroskop mit einer „echten“ Auflichtachse ausgestattet werden. Bei Verwendung dieser Achse wird für die Inspektion von Proben mit geringer Höhe ein Tischeinsatz benötigt.
Hellfeld-Bilder eines gemusterten Wafers
Weniger Anpassungen dank Automatisierung
Bei der Inspektion und Qualitätskontrolle können Sie dank der automatischen Anpassung der Einstellungen und der intuitiven Fokusbedienung Zeit sparen und Fehler reduzieren. Mit einem Tastendruck wird das Objektiv gewechselt und die Beleuchtungs- und Kontrasteinstellungen werden automatisch angepasst.
Der motorisierte Objektivrevolver ermöglicht einen schnellen und bequemen Objektivwechsel und reduziert unnötige Bewegungen, so dass Sie Zeit und Mühe sparen. Die Proben sind besser vor Verunreinigungen geschützt, da die Bediener ihre Hände nicht zum Wechseln der Objektive benutzen müssen.
Darüber hinaus können Sie mit dem 150x VIS-UV-Objektiv alle Kontrastverfahren nutzen, ohne das Objektiv überhaupt wechseln zu müssen.
Probenuntersuchung mit unkomplizierter Bedienung
Die bedienerfreundlichen und intuitiven Fokusfunktionen helfen Ihnen, Ihre Proben schnell und sicher zu untersuchen.
- Bei hochreflektierenden Oberflächen, wie z. B. blanken Wafern, hilft Ihnen der Fokussucher, mühelos und schnell zu fokussieren.
- Verwenden Sie den integrierten Fokusstopp mit einem großen vertikalen Bereich für Proben unterschiedlicher Höhe, um sie vor versehentlicher Beschädigung zu schützen.
- Dank der parfokalen Objektive können Sie mühelos die Vergrößerung ändern, ohne den Fokus neu einstellen zu müssen.
Komfortabel arbeiten, Produktivität steigern
Das ergonomische Design und die automatisierten Funktionen der Mikroskope DM8000 M und DM12000 M ermöglichen ein ermüdungsfreies Arbeiten, damit Sie sich auf Ihre Proben konzentrieren können, insbesondere bei sich wiederholenden Inspektionen.
Mit individuell einstellbaren ergonomischen Tuben und höhenverstellbaren Fokussierknöpfen können Sie bei Routineinspektionen und anderen Anwendungen für optimalen Komfort an Ihrem Arbeitsplatz sorgen.
Konzipiert für eine sichere und kontrollierte Arbeitsumgebung
DM8000 M und DM12000 M können in Reinräumen eingesetzt werden, wenn besonders funktionskritische Komponenten inspiziert werden müssen.
- Leitfähige Materialien mit Oberflächenwiderstand schützen Ihre Produkte vor elektrostatischer Entladung.
- Der gekapselte motorisierte Objektivrevolver ist für anspruchsvolle Umgebungsbedingungen ausgelegt.
- Eine integrierte LED-Beleuchtung im sichtbaren und UV-Spektrum verringert das Risiko von Verunreinigungen.
In Reinräumen optimiert das Design des Mikroskops die Luftströmung um das Mikroskop herum und sorgt dafür, dass die laminare Strömung nicht beeinträchtigt wird.
DM8000 M / DM12000 M manuell
Wählen Sie die manuelle Lösung entsprechend Ihren Anforderungen:
- Grundlegende Inspektion von Proben auf wöchentlicher Basis
- Moderater Probendurchsatz
- Manuelle Probenpositionierung
DM8000 M / DM12000 M motorisiert
Wählen Sie die motorisierte Lösung entsprechend Ihren Anforderungen:
- Erweiterte Inspektion von Proben auf täglicher Basis
- Hoher Probendurchsatz
- Verwendung desselben Mikroskops durch mehrere Benutzer
Finden Sie die Lösung für Ihre Anforderungen
Die Mikroskope DM8000 M und DM12000 M helfen Ihnen bei der effizienten und schnellen Inspektion von Proben im Größenbereich 8 Zoll und 12 Zoll. Spezielle Konfigurationen sind für Ihre spezifischen Anwendungsanforderungen verfügbar.
| DM8000 M / DM12000 M manuell | DM8000 M / DM12000 M motorisiert |
| Manuelle Probenpositionierung | x | x |
| Inspektion mit hohem Kontrast | x | x |
| Visualisierung feiner Strukturen | x | x |
| UV-Beleuchtung und schräge UV-Beleuchtung | o | o |
| Automatisierung und benutzerfreundliche Bedienung | - | x |
x = enthalten, o = optional, - = nicht verfügbar
