Fraunhofer Institute for Manufacturing Engineering and Automation (Fraunhofer Institut für Produktionstechnik und Automatisierung [IPA]), Cleanliness Technology (Reinheitstechnik), Ultraclean Technology and Micromanufacturing Dept. (Abteilung Reinst- und Mikroproduktion), Stuttgart, Germany

www.ipa.fraunhofer.de/Reinst_und_Mikroproduktion.81.0.html?&L=2